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SOI薄膜(Si+SiO2+Si)

具體成交價以合同協(xié)議為準

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  合肥科晶材料技術(shù)有限公司成立于1997年,是由一群來自麻省理工學院和加州大學伯克利分校的材料研究人員創(chuàng)辦的美國MTI公司與中科院合肥物質(zhì)科學研究院合資興辦的高新技術(shù)企業(yè)。主要生產(chǎn)氧化物晶體(A--Z)和材料實驗室成套設備:包括“混料-壓料-燒料”(混料機、壓片機、箱式爐、真空管式爐)以及“定向-切割-研磨-拋光”(X射線定向儀、低速外圓鋸、金剛石線切割機、自動研磨、拋光機)。公司自主研發(fā)生產(chǎn)上百款不同規(guī)格尺寸、溫度、高溫高壓及快速升溫等產(chǎn)品,其中包括:箱式爐、氣氛爐、管式爐、井式爐、RTP快速升溫爐、高溫高壓爐、鍍膜機、清洗劑及新能源鋰離子電池研發(fā)等相關(guān)實驗室設備。現(xiàn)已成為氧化物晶體(A--Z)的主要制造商和材料研究實驗室設備的*,為科研工作者提供材料研究解決方案。產(chǎn)品設計*、性能優(yōu)異,質(zhì)量可靠,性價比高,環(huán)保節(jié)能、返修率低,遠銷到歐洲,美國,日本,德國等許多國家,廣泛應用于物理、化學、冶金、醫(yī)學、新能源材料研發(fā)等領域,受到客戶*好評。
 
  科晶公司秉承"以人為本、技術(shù)為導、誠信為基、積極創(chuàng)新"的經(jīng)營理念,全力打造材料研發(fā)設備的品牌,竭力為科學進步和社會發(fā)展做出貢獻。
 

真空管式爐,高溫箱式爐,高速震動球磨機,RTP快速退火爐,高溫高壓爐,涂覆機,電池制備設備等

產(chǎn)品名稱:

SOI基片(Si+SiO2+Si)

常規(guī)尺寸

dia4" 鍍膜層:20um Si P/B + 2umSiO2+500um Si undoped


技術(shù)參數(shù):

國產(chǎn)SOI:膜層厚度可以按照客戶需求加工

①頂層2um±0.5(5點), BOX層2um±0.1 ,  P型,總厚度大約621um, 平整度LTV < 1um

②頂層3um±0.5(5點), BOX層2um±0.1,P型,總厚度大約622um, 平整度LTV < 1um

電阻率Ω.cm:15-25 ohm.cm;

進口SOI:

點擊查看:http://mtixtl.com/soiwafersilicononinsulator.aspx


常規(guī)尺寸:

SOI

φ6″100>/<110>鍍2umSiO2層鍍2umSi層-1sp

SOI

φ4″<100>/<110>鍍0.375umSiO2層鍍0.2umSi層-1sp

SOI

φ4″<100>/<110>鍍0.375umSiO2層鍍1umSi層-1sp

SOI

φ6″<100>/<110>鍍0.375umSiO2層鍍1umSi層-1sp

SOI

φ6″-<100>鍍0.375umSiO2層鍍0.1umSi層-1sp

SOI

φ6″-<100>鍍3umSiO2層鍍220nmSi層-1sp


備注:

1000級超凈室100級超凈袋單片盒或25片插盒封裝



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